1 · SIMS 原理
离子源与初级柱、质谱仪与次级柱、可视化与探测系统。
CAMECA IMS 7f-Auto 操作手册
CAMECA IMS 7f-Auto 二次离子质谱仪操作手册 —— 从开机启动到初级柱、次级柱的对准流程。
手册按仪器操作流程编排：启动仪器、准备并送入样品、调谐离子源、对准初级柱与次级柱。
2 · 启动仪器
真空柜启动、高压与实时机柜启动、安全检查、真空安全、水与气体流量计、氮气与压缩空气管路。
3 · 仪器烘烤流程
准备步骤、启动烘烤，以及烘烤结束时的操作。
4 · 样品准备
样品托准备：背板、弹簧、窗口居中与螺钉锁紧。
5 · 样品托送入分析室
自动多样品存储室、Navigator 软件，以及样品托的送入与取出流程。
6 · 调谐软件
调谐面板、各类预设框（标准、光阑与质量、探测器）以及束流位置框。
7 · 启动铯离子源
铯源原理，以及通过调谐软件启停铯源（含 Calib Cs Position 面板）。
8 · 次级光路对准流程
投影、质谱仪、浸没透镜与传输透镜、能量狭缝与探测器。
9 · 铯源初级柱对准流程
改变一次电流、总体对准流程，以及使用铯源的详细对准步骤。
10 · 启动双等离子体源
双等离子体源原理，以及通过调谐软件启停该源。
11 · 次级柱对准复查
初级柱对准完成后，再次复查次级柱对准。
12 · 氧源初级柱对准流程
改变一次电流，以及使用氧源（双等离子体源）的完整对准流程。
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