1 SIMS 原理

欢迎阅读 CAMECA IMS 7f-Auto 操作手册的基础培训部分。

本章介绍在 IMS 7f-Auto 上实现的二次离子质谱（SIMS）的基本仪器构造与离子光学原理：

• 1.1 离子源与初级柱：同轴离子光学初级柱、双等离子体源与铯微束源、维恩质量过滤器以及初级柱末级。
• 1.2 质谱仪与次级柱：次级离子光学、浸没透镜、传输光学系统以及双聚焦质谱仪原理。
• 1.3 可视化与检测系统：微通道板（MCP）直接成像、荧光屏、法拉第杯（FC）以及电子倍增器（EM）计数系统。