8 次级光路对准流程

要对仪器进行对准，必须从末端开始，也就是先做投影（投影镜组），然后沿仪器逐级向上，最后对准初级柱。如果次级柱没有对准好，一次束的图像将会发生变形，在最坏的情况下甚至无法看到该束。

在对准次级柱之前，必须先开启一个源，以便看到二次束图像。请注意，这一步并不需要一次束的完美对准，只要有一个能让人看到二次束的束流就足够了。

以下次级柱对准流程是在使用铯源、Source HV（加速电压）= +10kV、样品高压 = +5kV，并检测 ¹³³Cs⁺ 二次正离子的条件下描述的。