6 调谐软件

本章介绍用于控制、校准和优化 CAMECA IMS 7f-Auto 仪器硬件与预设的专用 Windows Tuning（调谐）控制应用程序：

• 6.1 调谐面板说明：调谐主菜单栏、总览（Synoptic）面板以及高压（HV）校验对话框。
• 6.2 预设框：标准预设框：标准预设按键板架构、一次束预设、Raster、e-Gate 和移动光阑。
• 6.3 预设框：光阑与质量：质量校准、居中功能、光阑分配（D0、D4、CA、FA、Ent、Ener、Exit 狭缝）。
• 6.4 预设框：探测器框：探测器预设按键板（Slit、Image、FC、EM）、zoom 预设以及自动调谐例程。
• 6.5 “Beam Position” 与 “Area Position” 框：一次束与最大区域预设的全局偏移修正。