3.2 启动烘烤
启动烘烤的标准流程如下:
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将质量设置为 1,然后关闭磁场机箱(Magnetic field chassis)。
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确认所有源均已关闭,并将样品从仪器中取出。
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用真空柜上的钥匙将电子设备关闭,把钥匙转到 OFF。
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确认两个 RAC 上的烘烤断路器均处于 ON。
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打开手动阀门 VM1。
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在真空总览图的“Baking”部分启动烘烤(见下图中的红色弧形标记)。首次烘烤安排在周末,设置 48 小时。
- 在真空总览图中启动记录器,以监测烘烤期间的压力变化(长时间烘烤时,采样间隔至少设置为 30 秒)。
请注意,压力最初会升高,随后下降,真空随之改善。