9.2 整体对准流程

9.2.1 起始条件：次级光学系统的预对准

要求此前已完成次级光学系统的对准，以便能够在 MCP（Micro Channel Plate，微通道板）上显示聚焦良好的二次样品图像。

- Detection mode：Image

- Transfer lens：250 μm

- FA：#1 (1800μm)

- CA：#2 (150 μm)

为了在 MCP 上获得良好的网格图像，请调整浸没透镜、消像散器和传输透镜（LTR1、LTR2）的微调控制。

9.2.2 起始条件：初级光学系统

开始对准之前，Cs 源必须已到达工作位置。要求具备以下仪器条件。

- D0=3000 μm（无光阑）

- D4=750 μm (#2)

- 所有透镜和偏转器均置 0，但以下除外：

○ L4：~ 6800V

- Beam Pos X：-400~ -500 digits

- Def FC：160 – 180eV

应接近典型值（对于 source HV=10kV、Sample HV=-5kV）

- Raster size：100 μm × 100 μm

- DTOS：ON

通过与 Raster Off 比较，检查 DTOS 是否正确校准。开启 raster 和 DTOS 时的束形应与 Raster Off 时的束形相同。如果不是，则必须调整 DTOS 值（X、Y），直到两种情况具有相同的束形。