2.4 真空安全

有多种安全保护与真空相关。这些安全保护的状态如下方真空总览图中的红框所示。方框为红色时，安全保护开启。相反，方框为绿色时，安全保护关闭。

真空总览图中显示的真空安全保护

这些安全保护的状态取决于以下不同情况：

1. 在以下情况下，仪器的某一部分没有高压：

- 与该部分相关的阀门关闭时：

■ 当阀门 EP3 关闭时，“Source” 安全保护开启。

- 当手动阀 VM1 关闭时，“Second” 安全保护开启。

- 当手动阀 VM1 关闭且阀门 EP4 打开时，“Sample” 安全保护开启。

- 该部分已放气，或真空值不佳。

- 当 CS 部分放气或真空值不佳时，“CS” 安全保护开启。

■ 当 Duo 部分放气或真空值不佳时，“Duo” 安全保护开启。

2. 当与某部分相关的阀门打开时，不允许对该部分进行放气或抽真空：

- Duo = EP1 和 EP7

○ CS = EP2

Source chamber（源室）= EP1、EP2 和 EP3

○ Analysis chamber（分析室）= EP3、EP4 和 VM1

○ Storage（存储室）= EP4 和 EP5

- Spectro = VM1

- Loadlock（进样室）= EP5