6.5 "Beam Position" 与 "Area Position" 框

Beam position 框和 Area position 框可通过点击主 Tuning 菜单栏中相应标记的按钮来选择。

每当操作员希望将同一数值应用到所有 Primary beam 预设的 3 个参数 Beam Pos X、Beam Pos Y、Last Lens 上时，就必须使用 Beam Pos 框。例如，当已确认所有 Primary Beam 预设都良好居中，而需要偏移所有预设以构建新的 ISF，或补偿某些外部寄生效应（例如静电边缘效应）时，建议这样做。

每当操作员希望将同一数值应用到所有 Max Area 预设的 3 个参数 DTR X、DTR Y、Immersion Lens 上时，就必须使用 Area Pos 框。

• 键盘拨轮被分配给 Beam Pos X、Lprim4、Beam Pos Y。操作员已修改了其中某些设置。

  • Apply：偏移所有 Primary Beam 预设。
  • Cancel：不修改任何 Primary Beam 预设。

• 键盘拨轮被分配给 DT FA X、Immersion Lens 和 DT FA Y。操作员已修改了其中某些设置。

  • Apply：偏移所有 Max Area 预设。
  • Cancel：不修改任何 Max Area 预设。