2.6 氮气和压缩空气管路

2.6.1 氮气管路

氮气用于对仪器放气，并在放气过程中降低涡轮分子泵的转速。在公用设施的压力表上，氮气管路的压力约为 0.5 bar。如果氮气管路中出现超压，安全阀将打开以降低压力。

氮气压力设定为 0.5 bar 的压力表（左）和安全阀（右）

2.6.2 压缩空气

压缩空气用于打开和关闭不同的阀门。

出口压力应在 5 到 7 bar 之间。压缩空气没有安全保护，因此在仪器上进行任何操作之前，请仔细确认管路上压力表的压力。