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10.2 通过调谐软件启动双等离子体源

Tuning Duo Source(调谐双等离子体源)控制面板允许操作员设置 Duo Source High Voltage(双等离子体源高压)、Arc current(弧流)和 coil current(线圈电流)。Duo Source High Voltage(或称 Accel HV)由用户根据分析需求选择。Arc 电流与线圈电流均不取决于该加速高压。

也可以从总览图(synoptics)面板修改源参数。

Duo source Start Process(Duo 源启动过程)在 2 种情况下被激活:

- 当操作员在下文所示的 Duo source Start/Stop(Duo 源启动/停止)面板中点击 START 时。

- 当加载新的 ISF 时,如果新 ISF 的 accel HV 与当前值不同。

任何 Duo 源启动过程都可以由 3 个初始参数和 3 个最终参数来定义

初始 Duo HV最终 Duo HV
初始 Arc 电流最终 Arc 电流
初始线圈电流最终线圈电流

初始参数是仪器当前的参数。最终参数可以是 Set-Up 中最后保存的参数,或待加载 ISF 文件中保存的参数。

对于 Duo High Voltage 为 15kV 的 Duo 源,通常的电流值约为:

◆ Arc current = 50 mA

Coil current = 250 mA

在源使用一段时间后,如果一次束的读出电流(debit current)不稳定,或者双等离子体源中的等离子体无法正确维持,则有必要清洁源内部。该步骤将在本手册末尾介绍。

点击 Tuning(调谐)菜单栏顶部的图标 启动/停止源图标 会打开下文所示的属性框:

选择 Duo 选项卡。

Duo 选项卡上的 Start/Stop sources 属性面板

Duo source Starting Mode(Duo 源启动模式)

Starting Mode 对话框,包含 Source Heating & Working 与 Source Heating only 两种模式以及 OK 和 Cancel

- Analogic/digital Selection(模拟/数字选择)单选按钮。若选择 Analogic,源参数以物理单位(Volts 或 mA)显示在该框中。若选择 Digital,则以无单位数字显示,与 Real Time Screen(实时屏幕)中显示的方式相同。

ON Source Accel 显示当前 ISF 中的 accel HV。

ON Arc Source 显示上次 Stop Source 时的 Arc 电流。

ON Coil current 显示上次 Stop Source 时的线圈电流。

➢ Stop 按钮,用于启动 Duo 源停止过程。

➢ Start 按钮会打开左侧显示的 Heating Source & Working 面板,用于选择 Duo source Starting Mode(Duo 源启动模式)。

请注意,源启动会按以下流程自动执行。

Source Heating & Working(源加热并工作):

- Duo 源腔室阀门(EP1)被打开(如果处于关闭状态)。

- Duo 源被启动(Accel HV、Arc current、Coil current)

- Source Heating only(仅源加热):

- 启动 Duo 源(Accel HV、Arc current、Coil current),但不改变 duo 阀门状态。

➢ Pause 按钮暂停 Stop 或 Start 过程。

Close 关闭 Start/Stop sources 面板。

Duo 源延时停止与启动框
  • @>Stop 按钮会打开左侧显示的 All Stop Sources(全部停止源)面板。该面板可用于对源的停止进行编程:

    • 源选择:Cs/Duo/NEG。
    • Duo 源位置:At Home/At Work。
    • 停止日期与时间。
    • 然后点击 ApplyClose
  • @>Start 按钮会打开左侧显示的 Differed starting for source Duo(Duo 源延时启动)面板。该面板可用于对源的启动进行编程:

    • ISF 文件选择:设置要启动的 Duo 源 Accel HV、Arc current 和 Coil current。
    • 选择 Duo 源的启动模式:
      • Source Heating & Working.
      • Source Heating only.(详见上文)
    • 然后点击 ApplyClose