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IMS 7f-Auto 操作手册
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1 · SIMS 原理
1 SIMS 原理
1.1 离子源与初级柱
1.2 质谱仪与次级柱
1.3 可视化与检测系统
2 · 启动仪器
2 启动仪器
2.1 真空柜启动
2.2 高压与实时柜启动
2.3 安全检查
2.4 真空安全
2.5 水和 galden 流量计安全
2.6 氮气和压缩空气管路
3 · 仪器烘烤流程
3 仪器烘烤流程
3.1 准备步骤
3.2 启动烘烤
3.3 烘烤结束时
4 · 样品准备
4 样品准备:
5 · 样品托送入分析室
5 样品托送入分析室:
5.1 自动多样品存储室
5.2 多样品存储室控制:Navigator 软件
5.3 将样品托送入存储室
5.4 分析室中样品托的装载/卸载流程
6 · 调谐软件
6 调谐软件
6.1 调谐面板说明
6.2 预设框:标准预设框
6.3 预设框:光阑与质量
6.4 预设框:探测器框
6.5 "Beam Position" 与 "Area Position" 框
7 · 启动铯离子源
7 启动铯离子源
7.1 铯源原理
7.2 通过调谐软件启动铯源
8 · 次级光路对准流程
8 次级光路对准流程
8.1 投影对准流程
8.2 质谱仪对准流程
8.3 浸没透镜与传输透镜的对准流程
8.4 能量狭缝与探测器的对准流程
9 · 铯源初级柱对准流程
9 铯源初级柱对准流程
9.1 改变一次电流
9.2 整体对准流程
9.3 对准流程:
10 · 启动双等离子体源
10 启动双等离子体源
10.1 双等离子体源的工作原理
10.2 通过调谐软件启动双等离子体源
11 · 次级柱对准复查
11 次级柱对准流程(复查)
12 · 氧源初级柱对准流程
12 双等离子体源初级柱对准流程
12.1 改变一次电流
12.2 总体对准流程
12.3 使用氧源的对准流程:
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7 启动铯离子源
本章介绍 IMS 7f-Auto 调谐软件中**铯(Cs⁺)**一次微束离子源的工作原理和逐步启动流程:
7.1 铯源原理
:热表面电离机制、储源加热、电离器温度和电动机械移动。
7.2 通过调谐软件启动铯源
:逐步启动流程、储源加热阶段、高压验证和源对准校准。