2.1 真空柜启动
- 合上接线端子排（真空柜后部）上的三个主断路器，并检查电源滤波器前面板上的 “Power” LED 是否变为绿色。
- 合上位于主配电箱（Main Distribution chassis）正面的 “AC” 断路器（下图中红框），并确认其旁边的 “AC ON” LED 为绿色。然后合上主配电箱上的所有断路器。
- 按下 EMO/CLE/RESET 条带上位于 EMO 旁边的 Equipment ON/OFF 绿色按钮（下图中红框）。
- 检查柜内所有机箱和泵电源是否均已单独开启。
- 在计算机上，打开 CamecaIMS 任务栏中的 Vac.Ter 真空控制窗口（下图中红框）。该控制窗口可用于访问与真空相关的设置。但是，必须注意在此窗口中输入的命令，因为执行这些操作时没有任何安全保护（存在使仪器整体放气的风险等）。
- 然后打开真空总览图。该窗口可总览仪器各部分的压力，并可用于控制阀门、涡轮分子泵和真空计。要打开它，请在 CamecaIMS 菜单栏中右键单击 “Board”，以管理员身份将其打开（上图中绿框）
- 然后在 Board 上单击 “Vacuum”（下图中红框）。随后出现真空总览图窗口（下图中右侧）。当总览图打开时，还会出现一个 “Vac server” 窗口。不要关闭它。同时确认通信正常（下图中红框所指的绿色 COM 指示灯）。
真空总览图中用以下图形元素表示不同的阀门：
- EP10：将粗抽送至仪器各部分的阀门（EP9、EP10、EP11、EP12、EP13、EP14、EP15、EP16）
- 向泵供给氮气的阀门（仪器放气、泵减速）（EP17、EP18、EP19、EP20、EP21、EP22、EP23）。EP7 向双等离子体源输送氧气。
- VM1：位于仪器本体上的阀门（VM1、EP1、EP2、EP3、EP4）
在真空总览图中，它们的状态由下图中不同颜色的指示灯表示（“Transitory”（过渡）状态表现为绿色和红色闪烁）：
- 在右侧的真空总览图上，标示了仪器各部分的状态：已放气（红色）、已抽真空（绿色）或处于过渡状态（闪烁）。在抽真空或放气之前，请务必确认与该部分相关的阀门已关闭；系统会向您发出提示，如果阀门未关闭，放气或抽真空的过程将被取消。要进行抽真空或放气，请单击该部分名称旁边的箭头（下图中红框），然后单击要应用的状态。当仪器完全放气后，必须逐个部分地对仪器进行抽真空，且同一时间只能对一个部分抽真空。
