8.1 投影对准流程
对于给定的放大倍数,Image mode 和 Slit mode 下的 LPR2 值必须相同。
8.1.1 仪器条件
Section titled “8.1.1 仪器条件”仪器条件:FA #1(1800μm)、CA #1(400 μm)、Max area(Transfer 预设)150 μm、Entrance Slit 全开(400μm)以及 Exit Slit 全开(1200 μm)。
在此之前,需要先在 Image mode 下准备好清晰的网格图像,如下所示。
8.1.2 对准流程
Section titled “8.1.2 对准流程”设置 DPRY
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在保持 Image mode 下网格图像的同时,打开 MCP Image calibration 框。
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增大 LPR1 以进入 Slit mode,如果束流在 Image mode 与 Slit mode 之间摆动时不在同一位置,则使用 Mass 字段进行水平居中、使用 DPRY 进行垂直居中,使其重新居中。
- 请注意,上述步骤 2) 也可以简单地通过交替使用 Image preset 和 Slit preset 来完成。当 DPRY 设置不正确时,请参考下面的图像。
- 在用 Mass 进行水平居中、用 DPRY 进行垂直居中之后,两种形状应位于同一位置。