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8.1 投影对准流程

对于给定的放大倍数,Image mode 和 Slit mode 下的 LPR2 值必须相同。

探测器面板:标准图像预设
探测器面板:标准图像预设
探测器面板:标准狭缝预设
探测器面板:标准狭缝预设

仪器条件:FA #1(1800μm)、CA #1(400 μm)、Max area(Transfer 预设)150 μm、Entrance Slit 全开(400μm)以及 Exit Slit 全开(1200 μm)。

在此之前,需要先在 Image mode 下准备好清晰的网格图像,如下所示。

Si/Ta 网格样品上的 ²⁸ Si ⁺ / ²⁸ Si ⁻ 图像:二次正离子与负离子模式
Si/Ta 网格样品上的 ²⁸ Si ⁺ / ²⁸ Si ⁻ 图像:二次正离子与负离子模式
Si/Ta 网格样品上的 ¹³³ Cs ⁺ 图像:二次正离子模式
Si/Ta 网格样品上的 ¹³³ Cs ⁺ 图像:二次正离子模式

设置 DPRY

  1. 在保持 Image mode 下网格图像的同时,打开 MCP Image calibration 框。

  2. 增大 LPR1 以进入 Slit mode,如果束流在 Image mode 与 Slit mode 之间摆动时不在同一位置,则使用 Mass 字段进行水平居中、使用 DPRY 进行垂直居中,使其重新居中。

增大 LPR1 值时,束流中心向左上方移动。=> 需要调整 Mass 和 DPRY
增大 LPR1 值时,束流中心向左上方移动。=> 需要调整 Mass 和 DPRY
  1. 请注意,上述步骤 2) 也可以简单地通过交替使用 Image preset 和 Slit preset 来完成。当 DPRY 设置不正确时,请参考下面的图像。
Image preset 与 Slit preset 交替对准
<Image preset>(左)与 <Slit preset>(右)用双向箭头表示的交替对准
  1. 在用 Mass 进行水平居中、用 DPRY 进行垂直居中之后,两种形状应位于同一位置。
调整 Mass 和 DPRY 之后,Image mode 与 Slit mode 的束流中心相同。
调整 Mass 和 DPRY 之后,Image mode 与 Slit mode 的束流中心相同。