8.3 浸没透镜与传输透镜的对准流程

8.3.1 仪器条件

仪器条件：FA #1（1800μm）、CA #1（400μm）、Max area（Transfer 预设）250 μm、Entrance Slit（入口狭缝）全开（400μm）以及 Exit Slit（出口狭缝）全开（1200 μm）。

8.3.2 对准流程

设置 DT-CA(X,Y) 与 CA 位置

‘Transfer alignment’（传输对准）的目标是使从样品表面出发、经浸没透镜（Immersion lens）、传输透镜（LTR1 与 LTR2）直到 ESA 入口的传输率达到最大。以下流程旨在找到并优化 DT-CA (X,Y) 值和 CA (X,Y) 位置。

1. 将浸没透镜（Immersion lens）值设为样品高压（sample HV）的 >90%（若样品高压设为 5000 V，则为 >4500 V）。将 LTR1、LTR2 设为 0。

2. 摆动（Wobble）LTR1 值，然后用 DT-CA X 和 Y 使束斑居中，以保持焦点位置，然后将 LTR1 复位为 0。请在笔记本上记录你的 DT-CA 值。

在这种情况下，摆动 LTR1 时束的中心发生变化 => 说明 DTCA 值不正确。

3. 现在，在保持 LPR1=0 的情况下摆动（Wobble）LTR2 值，然后用 CA X 和 Y 使束斑居中，以保持焦点位置，然后将 LTR2 复位为 0。

Immersion Lens=4000V, LTR1=0V, LTR2=0V

Immersion Lens=4000V, LTR1=0V, LTR2=3827V

Immersion Lens=4000V, LTR1=0V, LTR2=4401V

在这种情况下，摆动 LTR2 时束的中心发生变化。=> 说明 CA 值不正确。

4. 重复最后两步（2 与 3），直到 LTR1 和 LTR2 这两个透镜一起正确居中。

5. 两个传输透镜都正确对准后，再次将 LTR1 和 LTR2 两个透镜都设为 0。使用 DMCP 偏转器将此焦点移到屏幕中心。这表示二次束现在位于次级轴的中心。

6. 在获得正确的 DT-CA(X,Y) 和 CA (X,Y) 位置值后，先验证 ‘Mass & Apertures’ 面板的 ‘CA’ 预设。

7. 然后在没有任何改动的情况下调出（点击）Max area 预设。所有参数必须与对准前相同。现在，输入在上述步骤 2) 中记录在笔记本上的 DT-CA (X,Y) 值。然后验证 ‘Max area’ 预设。

设置 FA 位置

1. 打开一次束在样品表面的光栅扫描（200 ~ 250 μ m）。FA 的位置可能偏离中心。选择 ‘Mass & Apertures’ 面板的 ‘FA’ 预设，并将 FA 位置居中到微通道板（Micro Channel Plate）的中心。

2. 复查所有新值都已验证：CA 与 FA 位置，以及带有新 DTCA 值的 Max Area 预设。

设置不同的 Max area 预设

对于其它 ‘Max area’ 预设，调整 LTR1/LTR2 值，以获得具有所需视场的新图像。（4 个网格为 100μm；6 个网格为 150μm；10 个网格为 250μm）

注意： 重复从投影（projection）到传输（transfer）的所有步骤，直到次级柱完全对准。